三星宣布7nm LPP量产!基于EUV光刻技术、性能增加20%

10月18日早间消息,三星官方宣布,已经开始进行7nm LPP(Low Power Plus)工艺芯片的量产工作。

据悉,三星的7nm LPP采用EUV光刻,机器采购自荷兰ASML(阿斯麦),型号为双工件台NXE:3400B(光源功率280W),日产能1500片。

简单来说,EUV使用13.5nm波长的极紫外光曝光硅片,而传统的氟化氩(ArF)浸没式光刻则是依靠193nm波长,并且需要昂贵的多模掩模装置。EUV技术使得使用单个光罩来创建硅晶圆层成为可能,而ArF可能需要多达4倍的光罩才能创建相同的晶片。也就是说,与非EUV工艺相比,三星的7 LPP工艺可使光罩总数减少约20%,为客户能够节省时间和成本。

三星透露,其从2000年左右就着手研究EUV技术了。

技术指标上,对比10nm FinFET,三星7nm LPP可实现面积能效(同样复杂度为量纲)提升40%、性能增加20%、功耗降低最多50%。

三星透露,基于EUV的7nm LPP成功量产为其推进3nm奠定了基础、指明了道路。产能方面,主要在韩国华城的S3工厂,2020年前会在开一条新产线。

目前已知,高通新一代的5G基带会采用三星的7nm LPP工艺,看起来骁龙8150/8180等SoC希望也很大。

s_c97791736d4747ee87559ce4fb89dcf5
图为三星EUV产线

s_cc616ef490f145cdbba60eb65ed4fbb8

来源:快科技,文章为原文作者独立观点,不代表UD数码网立场。

0505

扫一扫,分享到微信

猜你喜欢

文章评论

电子邮件地址不会被公开。 必填项已用*标注

后发表评论

上一篇

华为40W快充实测:15分钟36% 68分钟充满

下一篇

一加6T印度售价泄露:3500元起售 售价高过一加6

微信公众号

微信公众号